리니어 모터

'프로테리얼 리니어 모터'는 고성능 희토류 자석을 사용한 리니어 직류 모터입니다. 가동부의 경량화를 극한까지 추구한 가동 코일방식을 채용하고 있어 고속 액세스가 가능합니다. 또한, 모터의 성능을 충분히 끌어 내는 고속 Full Closed Loop 구성의 컨트롤도 마련되어 있습니다. 주요 구성요소의 고성능 마그넷 제조를 바탕으로 토털 시스템 설계· 제조로 임하고 있는 '히타치 리니어 모터'는 다양화되는 니즈에 대해 최적의 성능을 구현하는 핵심 유닛이 될 것으로 확신합니다.

• 리니어 모터 구동 대형 XYθ 스테이지