리니어 모터 구동 대형 XYθ 스테이지

리니어 모터 스테이지

리니어 모터 컨트롤러

액정 디스플레이나 플라즈마 디스플레이의 대형화 및 고화질화의 발전에 따라 이들의 제조장치에는 고속·고정밀 위치결정 및 대형 스트로크화의 요구가 높아지고 있습니다. 이러한 요구를 충족시킴과 동시에 차세대 프로세스를 고려한 리니어 모터 다이렉트 구동에 의한 대형 XYθ스테이지를 개발 및 제품화했습니다.

특징

시스템의 높은 퍼포먼스는 추진력을 발생시키는 모터부, 이를 제어하는 제어부, 고정밀 이동을 가능하게 하는 스테이지부의 종합적인 성능에 따라 좌우됩니다. 이를 위한 지속적인 개발을 통해 본 시스템은 다음과 같은 특징을 가집니다.

1. 고속·고정밀 위치결정: 고성능 희토류 마그넷을 사용한 PM형 직류 코어리스 코일 모터로 각 축을 다이렉트로 구동하기 때문에 롱 스트로크 사양에서도 고속으로, 그리고 고정밀도로 위치결정이 가능합니다. 또한, 고속·고정밀도의 양립은 기존의 조동용 스테이지와 미동용 스테이지의 조합이 불필요하기 때문에 시스템의 간소화와 소형·경량화를 실현했습니다.
2. 저소음, 저발진: 볼나사를 사용하지 않는 스테이지 구성이기 때문에 저소음화가 가능합니다. 오일 미스트의 비산 원인이 되는 회전부가 없으므로 저발진입니다. 또한, 모터는 비접촉으로 구동하므로 유지보수가 불필요합니다.
3. 고신뢰성, 저비용, 단납기: 모터 코어부에 당사 표준 리니어 모터를 채용. 고신뢰성 및 부품의 공통화를 통해 비용과 납기를 최소화한 시스템 구축이 가능합니다.
4. 폭 넓은 범용성: 당사가 개발한 모터 컨트롤러는 마이크로 컴퓨터로 제어 프로그램을 수정할 수 있습니다. 또한, 저속에서 고속까지 넓은 운전영역의 요구나 위치결정용도 또는 등속성용도 등 다양한 요구에 개별적으로 대응할 수 있습니다.

기본 사양

• 리니어 모터

문의처 정보

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